膜厚ムラ解析装置 本装置は測定対象表面に光を照射し、膜表面からの反射光と膜を透過後基盤表面から返ってくる反射光の光路差による位相のずれから生ずる干渉色をCCDカラーカメラでとらえ、独自の膜厚むらアルゴリズムでの画像解析により表面コーティングの膜厚および面としての膜厚むらを瞬時に計測できる画期的な非接触式膜厚均一性計測装置です。 （株）アイ・システム
膜厚ムラ解析装置
提供:ファクトリー・マート・ジャパン
（株）アイ・システム
