半導体・液晶製造関連機器
LCDリペア装置
イオナイザ
インライン・ヒーター
ウエハマーカ
クリーンルーム関連機器
フリップチッププロセス装置
マスクリペア装置
液晶検査計測機器
計測・検査機器
振動制御装置
洗浄機
貼付工程用ハクリ機
半導体実装装置
エアクリーンユニット 「ZN-A」
業界最薄・大風量エアクリーンユニット
形ZN-A
オムロン（株） センシングコンポ
エアパーティクルセンサ 「ZN-PD」
業界最小インライン・エアパーティクルセンサ
形ZN-PD
オムロン（株） センシングコンポ
LCDリペア 「SL455/465シリーズ」
LCDリペア
オープン系欠陥の修正に対応
独自技術でLCDパネル製造プロセスの随所で発生する多様な欠陥に対応。テレビ用TFT-LCDの製造において、レーザーフロントのリペア装置はもはや世界標準です。ショート部位をレーザで切る”ザッピング”に加え、特許取得”ガスカーテン法”の採用により、チャンバーレスでオープン系欠陥をも修正するベストセラーです。
オムロンレーザーフロント（株）
ウェハマーカ 「SL473DS」
ウェハマーカ
クリーンで視認性の高いマーキング
半導体製造プロセスのクリーン環境において、シリコンウェハ上に個別のマーキングを施し、トレーサビリティーを確保します。
オムロンレーザーフロント（株）
マスクリペア 「LM530A/535A」
マスクリペア（FPD用）
白欠陥の修正にも対応
特許取得ガスカーテン法とUVレーザを組み合わせた精密CVDにより、微小白欠陥のリペアを可能としました。高価なフォトマスクのリペアを安全・高速に実現すると同時に、LCD向けの大型サイズにも対応しています。
オムロンレーザーフロント（株）
光照射式静電気除去装置 フォトイオナイザ
フォトイオナイザは、クリーンなイオン生成方式「Photoionization（光電離）」を利用した静電気除去装置です。従来のコロナ放電方式とは違い、「塵や電磁ノイズ、オゾン」の発生しないクリーンな除電です。また、イオン生成バランスが均等であるため、逆帯電を起こすことがありません。
浜松ホトニクス（株）
超精密ディスペンサー装置 「Quspa」
ディスペンサー業界の新しい常識
（株）進和
空圧アクティブ微振動振動制御ユニット 「Newαシリーズ」
空気圧アクチュエータの採用により、除振性能はもちろん大出力の確保や位置制御が容易に得ることが可能です。
ペイロード6ton対応のアクチュエータを標準化。
特許機器（株）
精密測長器
液晶の電気光学効果を利用
高分解能・高精度･高機能
取付の簡易性を実現
■ 半導体製造における超微細位置制御
■ ディスク、表示素子の超微細計測位置制御
■ バイオ診断チップ高速微細加工制御
■ μファクトリ用nm加工制御
■ 医療におけるnm制御計測
■ その他nm位置制御計測
シグマサイバーテック（株）
フープ ロード ポート 「TAS300 Type-E4」
進化するTDK
45nmクリーンテクノロジー
徹底したクリーン化性能、信頼性設計。
TDK（株） 生産技術開発センター
アンダーフィルディスペンス装置 「MDM-2」
ディスペンス品質の常識が変わる！
TDKの考えを凝縮した新世紀マルチディスペンサです。
投影面積で吐出量を高精度コントロール。塗布安定性を大幅に向上させました。
ユーザーニーズを徹底的に集約したマルチディスペンス装置です。
各種工法に特化した最先端フリップチップボンダーもお問い合わせ下さい。
TDK（株） 生産技術開発センター
膜厚ムラ解析装置
膜厚ムラ解析装置
本装置は測定対象表面に光を照射し、膜表面からの反射光と膜を透過後基盤表面から返ってくる反射光の光路差による位相のずれから生ずる干渉色をCCDカラーカメラでとらえ、独自の膜厚むらアルゴリズムでの画像解析により表面コーティングの膜厚および面としての膜厚むらを瞬時に計測できる画期的な非接触式膜厚均一性計測装置です。
（株）アイ・システム
輝度・色ムラ解析装置 「EyeScale-3W、4W」
輝度・色ムラ解析装置 「EyeScale-3W、4W」
従来の一点表示の色彩輝度計にかわり、CCDカラーカメラで画像をとらえ、表示デバイス全体に対する輝度・色ムラを二次元のカラー画像として表示します。
人間の目で評価したのと同等な輝度・色ムラの総合的な評価、解析ができます。
（株）アイ・システム
クリーンルーム対応エアレギュレータ 「RSシリーズ（超精密減圧弁）／RRシリーズ（超精密エアリレー）」
クリーンルーム対応
超精密制御を可能にしたエアレギュレータ
藤倉ゴム工業（株）