CD測定装置（高速短寸測定装置）

高精度と高速の両立を実現
・高精度測定・・・繰り返し精度（3σ）0.02～0.1μm
・高速測定・・・タクトタイム1点1秒以下
・充実したユーザ支援機能
・膜厚測定(オプション)
メーカー　オムロン（株） QLMソリューション事業センタ

● 高精度測定
● 高速測定
● 充実したユーザ支援機能