光学式膜厚計 「Z5FM」
インライン膜厚検査・計測の実現により、品質改善・歩留まり改善を強力に支援します。
オムロン(株) QLMソリューション事業センタ

● “膜厚計測”、“膜厚 + 光学定数(屈折率,吸収係数)同時計測”など複数の計測アルゴリズムを搭載
● 設置条件に合わせて選べるファイバヘッド
● インライン計測に欠かせないトリガモードの充実
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光学式膜厚計 「Z5FM」光学式膜厚計 「Z5FM」インライン膜厚検査・計測の実現により、品質改善・歩留まり改善を強力に支援します。
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