静電吸着チャック（ソフトパーム・ティンハンド）
クーロン力にてウェハー等の対象物を接触吸着し、ハンドリングするハンディタイプのチャックです。
薄型化するウェハー、ガラス基板、フィルム等の搬送にお困りではありませんか？
いつでもどこでも手軽に使えるコードレス
シグマサイバーテック（株）
● 接触面全面に均等に支持力を分散するため、従来の真空吸着式の持つ対象物への局所ストレスを解消しました。
● 凹凸面のある対象物も吸着可能です。
● 対象物裏面電位は最小に押さえられ裏面へのゴミの吸着はありません。
● コードレス、小型で携帯型。
