精密測長器
液晶の電気光学効果を利用
高分解能・高精度･高機能
取付の簡易性を実現
■ 半導体製造における超微細位置制御
■ ディスク、表示素子の超微細計測位置制御
■ バイオ診断チップ高速微細加工制御
■ μファクトリ用nm加工制御
■ 医療におけるnm制御計測
■ その他nm位置制御計測
シグマサイバーテック（株）
● 高分解能（±0.5nm)・高精度（±20nm再現性精度）の測長ができる。
● 正・逆動作切替時に測長誤差が発生しない。
● チャタリングによる測長誤差が発生しない。
● 取付に特別の技術を必要としない。取付用治具により簡単に取付ができる。
● 周囲温度による影響が少ない。
● ノイズ等の外乱に強い。
