超精密ディスペンサー装置 「Quspa」
ディスペンサー業界の新しい常識
（株）進和
● 塗布処理時間 ： エアー式ディスペンサーの1.5～10倍
● 0.078μmの分解能による超高精度の微量塗布が可能
● ロボットスピード ： 1200mm/sec
● 対応ワークサイズ （Ms） ： 330mm ｘ 250mm
（Ss） ： 150mm ｘ 150mm
● 繰り返し精度 ： 5μm以下
● 装置サイズ（Ss） ： 幅800mm ｘ 奥行800mm ｘ 高さ1350mm
