空圧アクティブ微振動振動制御ユニット 「Newαシリーズ」
空気圧アクチュエータの採用により、除振性能はもちろん大出力の確保や位置制御が容易に得ることが可能です。
ペイロード6ton対応のアクチュエータを標準化。
特許機器(株)

● 優れた除振性能:地動フィードフォワードによるダブルアクティブ微振動振動制御で絶縁量を大きくします。
● 制振性能(水平)の向上
● 搭載荷重の大幅アップ:333型の多点支持で、50ton以上の装置も制御が可能です。
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空圧アクティブ微振動振動制御ユニット 「Newαシリーズ」空圧アクティブ微振動振動制御ユニット 「Newαシリーズ」空気圧アクチュエータの採用により、除振性能はもちろん大出力の確保や位置制御が容易に得ることが可能です。
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