クリーンルーム対応エアレギュレータ 「RSシリーズ（超精密減圧弁）／RRシリーズ（超精密エアリレー）」
クリーンルーム対応
超精密制御を可能にしたエアレギュレータ
藤倉ゴム工業（株）
圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
● クリーン仕様
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。
● 排気ポートを設備
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
● 優れた特性
リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
